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高精度X射线衍射仪SXRD-HR100

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自动化为一体的X射线衍射仪,其测试范围覆盖了粉末、薄膜、纳米材料等各类材料,广泛应用于材料科学、能源、半导体、医药等领域。
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产品概述


产品简介

SXRD-HR100是一款高分辨、多功能、 自动化为一体的X射线衍射仪,其测试范围覆盖了粉末、薄膜、纳米材料等各类材料,广泛应用于材料科学、能源、半导体、医药等领域。

产品特色
· 标配密封陶瓷X射线光管,功率大,亮度高,可持续工作,长期可靠性好
· 高运动精度测角仪,配合高精密光学元件,可提供高准直、高单色的X射线光束
· 二维光子计数探测器,具有很高的空间分辨率,可以大幅度提高测试效率
· 具有良好的兼容性和扩展性,支持模组快捷切换,以满足不同应用场景的需求
· 智能光路系统:光路自动切换、模组自动识别
 
测试数据

SXRD-HR100测试数据:半高宽(FWHM)

测试条件

· B/B几何光路
· 光管功率:40KV,40mA
· 索拉狭缝:3°
· 入射狭缝:0.6°
· 步进模式:step=0.003°(单晶硅)
· 连续模式:step=0.02°(多晶硅)
 
高精度X射线衍射仪SXRD-HR100技术特点
大功率光管(两种靶材可选)
Cu靶:标配光源,波长=1.54Å,适用于绝大部分X射线衍射实验和应用场景
Mo靶:波长=0.71Å,主要针对轻元素(如 Li、B)材料和超高分辨(如半导体应变层)的衍射实验
模块化与自动化设计
· 系统具有模组自动识别功能,可随时了解系统配置状态
· 光路自动调整,可有效降低实验难度,提高实验效率
· 不同光路之间可自动切换,大大提高实验的自动化程度
超高分辨率
· 高精度测角仪,配合光学编码器的全闭环控制,可实现的定位精度为 ±0.0001°
· X射线多层膜反射镜(Goebel镜),用于X射线光束修饰,可将光束准直性提高到0.03°以内,并有效去除特征光谱中的Kβ部分
· Ge220双晶单色器,用于X射线光束修饰,可进一步提高光束单色性,是超高分辨率衍射的必备光学元件
· 可选配二维单光子计数探测器,具有大面积(有效面积 77.1x 38.4毫米)、高空间分辨率(最小像素75x75 微米)和高计数率

客户价值
 
提升科研效率 (自动化 + 高通量,缩短研发周期)
自动化操作:自动校准功能、模块识别功能、一键式流程,可以有效降低实验难度,提高实验效率,非常适合需要快速迭代的研发场景
大面积光子计数探测器:可同时采集多角度数据,结合 AI 辅助分析,快速完成物相识别或应力分布计算,加速实验-反馈循环
 
节约运行成本(低维护设计 + 模块化扩展 + 自动化设计,降低全生命周期成本)
低维护与高寿命:标配的陶瓷密封X射线管,使用寿命长,日常无需维护成本
模块化设计与扩展性:用户无需为不同需求购置多台设备,通过升级附件,即可扩展新的功能,降低初期投资和后续升级成本
节约人力成本:自动化操作减少对专业操作员的依赖,新手经过短期培训即可独立完成复杂测试,有效降低人力资源投入
 
提升数据的质量与可靠性(高灵敏度 + 稳定性,确保数据可靠性,支持高精度工艺控制)
高精度与低噪声:高精密光学元件,对X射线光束进行准直和单色,配合多能量阈值可选的光子计数探测器,可以有效降低噪声信号,提高实验的分辨率,确保弱信号样品的精准检测,提高实验数据的可靠性
稳定性与重复性:高精度机械加工,配合光学编码器形成的全闭环控制,保证了测角仪的运动精度、稳定性、长期可靠性,可以满足工业质量控制(如半导体晶圆检测)对可重复性的严苛要求
灵活性(模块化设计,兼容性强,扩展性强,满足跨领域需求,适应技术趋势迭代)
易用性(智能化操作降低技术门槛,远程协作提升资源利用率)


应用领域

技术规格

项目 规格参数

外观尺寸

1300(宽)×1880(高)×1300(深)mm

X射线光管

最大输出功率3kw,电压 10 - 60kv,电流 0 - 50mA

靶材 Cu,阳极接地,铍窗 300μm,起飞角 6°

电子束焦斑:0.4×1.2mm

水冷:最小流速 3.5l/min,最大水压 490KPa,压降 98KPa

高压电源

输入:电压 230Vac - 10%, one phase,电流 33A

输出:电压 0 - 60kv,电流 0 - 80mA

稳定性:预热 1 小时后,8 小时内电压和电流变化 < 0.01%

纹波:在 1KHz 以下,0.03% rms;在 1KHz 以上,0.75% rms

测角仪

类型:垂直放置测角仪

角度范围:-110° ~ +168°

角度定位:步进电机 + 光学编码器

最小步长 0.0001°,运动精度≤±0.0001°

 
项目 规格参数

探测器

类型:光子计数型混合像素半导体探测器

有效面积:77.1×38.4 = 2961mm²

像素大小:75×75μm

尺寸:100 x 140 x 93 mm

样品台

标准样品台:Rx, RY, Z, phi

XYZ 运动平台 (可选): X, Y, Z

毛细管样品台 (可选):X, Y, phi

五轴样品台 (可选): X, Y, Z, phi, Chi

Non - ambient 样品台 (可选)

光学元件

可变狭缝:0.05 - 10mm

soller 狭缝:0.5°丶0.2°丶0.1°丶0.05°丶0.02°

Goebel 镜:发散度≤0.03°, f1 = 100mm,单色性 Kα

双晶单色器:Ge220×2