
| 序号 | 参数项 | LS35z.Lab | LS35z.Lab.E |
| 1 | 特殊版本 | .HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本;.NM, 完全无磁版本 | 无 |
| 2 | 外形尺寸 | 35 × 35 × 41 mm | 35 × 35 × 41 mm |
| 3 | 主体材料 | 标准版.HV, .UHV 不锈钢: 250 g;.NM, 纯钛,陶瓷: 160 g | 不锈钢;250 g |
| 4 | 运动行程 | 10 mm | 10 mm |
| 5 | 速度范围 | 默认: 0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:推荐使用 1 mm/s- | |
| 6 | 保持力 | 7.5 N | 7.5 N |
| 7 | 水平方向使用最大负载 | 典型值: 500 g;可选配: 1.5 kg- | |
| 8 | 双向位置重复精度 | ±150 nm | ±300 nm |
| 9 | 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 10 | 最小步代 (闭环) | 5 nm | 100 nm |
| 11 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
| 12 | 位置传感器分辨率 | 默认: 2 nm;可选配: 0.5 nm | 50 nm |
| 13 | 线缆 & 接头 | 默认:屏蔽线缆 D-Sub15;.UHV 版本: Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)- | |
| 14 | 控制器规格 | MC-Newton.S 系列 | MC-Newton.S 系列 |
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