
| 产品参数 | LS35x.Lab | LS35x.Lab.E | |
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1 |
特殊版本 |
.HV,高真空版本; .UHV,超高真空版本; .NM,完全无磁版本; |
⽆ |
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2 |
外形尺寸 |
35 × 35 × 12 mm |
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3 |
主体材料 |
标准版,.HV,.UHV 不锈钢:85 g;NM,纯钛;65 g |
不锈钢;85 g |
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4 |
运动行程 |
20 mm |
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5 |
速度范围 |
默认:0.1 μm/s ~ 20 mm/s; .HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s |
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6 |
驱动力 |
典型值:2 N ;可选配:4 N |
2 N |
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7 |
保持力 |
典型值:3 N ;可选配:5 N |
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8 |
水平方向使用最大负载 |
1 kg |
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9 |
竖直方向使用最大负载 |
默认:100 g,可选配:250 g |
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10 |
双向位置重复精度 |
±100 nm |
±300 nm |
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11 |
全行程俯仰/偏摆 |
0.3 mrad |
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12 |
最小步伐(闭环) |
5 nm |
100 nm |
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13 |
位置传感器类型 |
光学位置传感器 |
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14 |
位置传感器分辨率 |
标准版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm; |
50 nm |
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15 |
线缆 & 接头 |
默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK) |
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16 |
控制器规格 |
MC-Newton.S系列 |
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