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LS35x.Lab

LS35x.Lab压电线性位移台

纳米级位置连续调节·超高真空,完全无磁版本、百万次全行程耐久测试5nm最小步伐、可与旋转台,摇摆台等自由堆叠组合
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产品概述
 LS35x.Lab压电线性位移台产品特色 
• 纳⽶级位置连续调节
• 5nm 最⼩步伐
• 超⾼真空,完全⽆磁版本
• 百万次全⾏程耐久测试
• 可与旋转台,摇摆台等⾃由堆叠组合
 
LS35x.Lab压电线性位移台产品尺寸
LS35x.Lab压电线性位移台选型表
 
  产品参数 LS35x.Lab            LS35x.Lab.E

1

特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完全无磁版本;

2

外形尺寸

35 × 35 × 12 mm

3

主体材料

标准版,.HV,.UHV 不锈钢:85 g;NM,纯钛;65 g

不锈钢;85 g

4

运动行程

20 mm

5

速度范围

默认:0.1 μm/s ~ 20 mm/s; .HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6

驱动力

典型值:2 N ;可选配:4 N

2 N

7

保持力

典型值:3 N ;可选配:5 N

8

水平方向使用最大负载

1 kg

9

竖直方向使用最大负载

默认:100 g,可选配:250 g

10

双向位置重复精度

±100 nm

±300 nm

11

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

12

最小步伐(闭环)

5 nm

100 nm

13

位置传感器类型

光学位置传感器

14

位置传感器分辨率

标准版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;

50 nm

15

线缆 & 接头

默认:屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包线,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器规格

MC-Newton.S系列

* 更多产品详情、图纸及三维模型,请联系我们获取。