• 超高真空，完全无磁版本兼容
• 百万次全行程耐久测试
• 纳米级位置连续调节
• 可与旋转台，摇摆台等自由堆叠组合
| 产品参数 | LS65z.Lab | LS65z.Lab.E |
|---|---|---|
| 1. 特殊版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本；.NM，完全无磁版本 | 无 |
| 2. 外形尺寸 | 65 × 65 × 44 mm | 65 × 65 × 44 mm |
| 3. 主体材料 | 标准版 铝合金，钢：310 g；.NM 纯钛，陶瓷：270 g；.HV .UHV 纯钛，钢：500 g | 铝合金，钢：310 g |
| 4. 运动行程 | 10 mm | 10 mm |
| 5. 速度范围 | 默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：推荐使用 1 mm/s | - |
| 6. 保持力 | 7.5 N | 7.5 N |
| 7. 水平方向使用最大负载 | 典型值：500 g；可选配：1.5 kg | - |
| 8. 双向位置重复精度 | ± 150 nm | ± 300 nm |
| 9. 全行程俯仰 / 偏摆 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 10. 最小步优（闭环） | 5 nm | 100 nm |
| 11. 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
| 12. 位置传感器分辨率 | 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
| 13. 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D–Sub15；.UHV 版本：Kapon 漆包线，D–Sub15 (PEEK) | - |
| 14. 控制器规格 | MC-Newton.S 系列 | MC-Newton.S 系列 |
13810146393
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