| 参数项 | LS65x.Lab | LS65x.Lab.E |
| 特殊版本 | .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完全无磁版本 | 无 |
| 外形尺寸 | 65 × 65 × 13 mm | 65 × 65 × 13 mm |
| 主体材料 | 标准版 铝合金，钢：160 g；.HV, .UHV 纯钛，钢：260 g；.NM, 纯钛，陶瓷：110 g | 铝合金，钢：160 g |
| 运动行程 | 30 mm | 30 mm |
| 速度范围 | 默认: 0.1 μm/s ~ 20 mm/s；.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
| 驱动力 | 典型值: 2 N；可选配: 4 N | |
| 保持力 | 典型值: 3 N；可选配: 5 N | |
| 水平方向使用最大负载 | 2 kg | |
| 竖直方向使用最大负载 | 默认: 100 g；可选配: 250 g | |
| 双向位置重复精度 | ± 100 nm | ± 300 nm |
| 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 最小步伐 (闭环) | 5 nm | 100 nm |
| 位置传感器类型 | 光学位置传感器 | 光学位置传感器 |
| 位置传感器分辨率 | 标准版本 2 nm；adv 版本 0.5 nm | 50 nm |
| 线缆 & 接头 | 默认: 屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本: Kapton漆包线, D-Sub15 (PEEK) | |
| 控制器规格 | MC-Newton.S系列 | |
13810146393
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