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型号 |
S100.z.C /S |
S300.x.C |
S100.xy /xyz.C |
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运动方向 |
Z方向 |
X方向 |
S100.XY : X，Y方向 S100.XYZ : X，Y，Z 方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
40×40×18 |
50×50×17 |
55×55×40 |
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主体材料 |
铝合金 & 不锈钢 |
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自重（g） |
150 |
200 |
500 |
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运动行程（um） |
100(闭环) |
300 (开环) 250 ( 闭环) |
S100.xy.C :100×100 S100.xyz.C : 100×100 ×100 |
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运动分辨率（nm） |
0.2 |
1 |
0.2 (开环) 1 (闭环) |
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运动可重复精度（nm） |
± 5 |
士10 |
< 10 |
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线性误差 |
优于0.02% |
优于0.1% |
优于 0.1% |
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共振频率（Hz） |
500 |
350 |
X，Y: 400 ，350 Z: 300 |
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刚性（N/um） |
0.5 |
/ |
0.5 |
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闭环传感器（闭环版本） |
电容式 |
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驱动电压 |
150V |
Max.150 V |
150V |
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推荐使用温度 |
-20~80°C |
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13810146393
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