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S100.z.C /S

亚纳米标准压电扫描台S100.xx.C/S、S300.X.c/s系列

特点:
• 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程
• 高负载,负载可至500g
• 闭环精度优于1nm
• 支持超高真空、无磁版本选用
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产品概述

亚纳米标准压电扫描台特点:
• 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程
• 高负载,负载可至500g
• 闭环精度优于1nm
• 支持超高真空、无磁版本选用
 
命名规则
亚纳米标准压电扫描台选型表

型号

S100.z.C /S

S300.x.C

S100.xy /xyz.C

运动方向

Z方向

X方向

S100.XY : X,Y方向

S100.XYZ : X,Y,Z 方向

底面尺寸×高度(mm)

40×40×18

50×50×17

55×55×40

主体材料

铝合金 & 不锈钢

自重(g)

150

200

500

运动行程(um)

100(闭环)

300 (开环)

250 ( 闭环)

S100.xy.C :100×100

S100.xyz.C : 100×100 ×100

运动分辨率(nm)

0.2

1

0.2 (开环) 1 (闭环)

运动可重复精度(nm)

± 5

士10

< 10

线性误差

优于0.02%

优于0.1%

优于 0.1%

共振频率(Hz)

 

500

 

350

X,Y: 400 ,350

Z: 300

刚性(N/um)

0.5

/

0.5

闭环传感器(闭环版本)

电容式

驱动电压

150V

Max.150 V

150V

推荐使用温度

-20~80°C

 
亚纳米标准压电扫描台尺寸图