|
型号 |
Carrier.OB.050.C |
Carrier.OB100.C |
Carrier.OBHL100.C |
|
外形尺寸 |
详见各型号尺寸图 |
||
|
材质 |
不锈钢/铝合金 |
||
|
自重（g） |
270 |
270 |
500 |
|
运动方向 |
Z 轴 |
||
|
行程（um） |
50 |
100 |
100 |
|
线性度 |
0.02% |
0.03% |
0.02% |
|
内置传感器 |
电容式传感 |
||
|
传感器噪声（nm） |
1 |
||
|
Z方向分辨率，开环（nm） |
0.2 |
||
|
稳定时间 (90%位置到达)（ms） |
10 |
15 |
10 |
|
共振频率（无负载）（Hz） |
600 |
500 |
900 |
|
共振频率（150 g 负载）（Hz） |
300 |
250 |
500 |
13810146393
在线咨询
