光波导基础：原理及制作工艺

光波导通过高折射率芯层与低折射率包层形成的三明治结构，利用全反射将光束限制在芯层中传播，实现光信号的高效传输。

不同材料体系的光波导芯片的制备工艺有一定的差异。以硅基SiO₂光波导为例，工艺流程包括氧化、PECVD沉积、光刻、刻蚀、退火等步骤，*终通过切割与抛光获得独立芯片。

光波导在AR/VR技术中的应用：实现虚实融合的视觉体验

光波导技术是AR眼镜实现“透视”功能的关键。它通过全反射将图像无损传输至人眼，同时允许用户看到真实世界，实现虚拟信息与现实的自然融合。

与完全沉浸式的VR不同，AR眼镜需具备“透视”功能，使用户能同时观看到真实世界与虚拟信息。为实现这一目标，其成像系统必须避免遮挡用户视线。光波导凭借“全反射”原理，使光线在波导片内无损传播，*终将图像投射至人眼。在此过程中，波导本身不参与成像，仅高效地传输光线，形成“平行光进，平行光出”的光学路径。这一机制从物理设计上显著降低了对视线的遮挡，从而极大地提升了AR眼镜的佩戴舒适度和与现实世界的融合感。

光波导实验中的光路支持方案

  在检测光波导性能的实验中，实验的光路可分为激发区、光路调整区和检测接收区三大模块，每个区域的调节都有相应的要求，但每个模块对应的功能需求不同：

（2）光路调整区：光路模块需要不同镜片的配合使用以实现激光准直、偏振态控制、功率调节，对应镜架类型为一维平移镜架、二维旋转镜架等；

（3）检测接收区：需保证接收信号的稳定性，依赖高精度调整架以及运动控制模块。

卓立汉光产品在光波导实验中的关键应用

1.激发区稳定提升

卓立汉光提供不同的阻尼隔振平，确保光源稳定与位置精确调节。针对不同实验场景都可以提供稳定的实验环境，减少振动对实验的干扰，提升实验效果，适用于长时间的扫描检测波导效果。

升降台可以对光源位置进行调控，卓立汉光提供大承重的手动位移台，行程大，负载能力强，也有小尺寸的位移台可供选择。

提供透镜、波片、偏振片及高稳定镜架，支持光路准直与偏振转换。

（1）透镜及镜片

光波导实验中的准直以及偏振转换总是必不可少，卓立汉光提供相应的透镜以及偏振片，1/2波片、1/4波片以及偏振分光棱镜对光路进行准直以及偏振的转换。

对于光路中的反射镜，偏振片等光学镜片，高稳定的镜架也有着及其重要的作用，卓立汉光提供SUS高稳定镜架，采用3个0.2mm螺距的超细牙螺纹副进行三维调节，具有更高的灵敏度

二维旋转镜架：通过高精度旋转台调节 1/4 波片角度，将线偏振光转为圆偏振光，以实现光信号的接收。

（3）多维光纤耦合调整台

在光波导实验中，光纤的耦合是大部分实验中绕不开的场景，有些特殊实验需要耦合效率达到80%-85%，卓立汉光在光纤耦合方面提供多轴调节的调整架，助力增强光纤耦合效率。

配备电动位移台与压电位移台，实现高精度扫描与位置微调，提升检测效率。

在检测系统中，光波导实验需要对波导产生的现象进行扫描成像处理，这时扫描的运动控制系统就显得尤为重要，卓立汉光提供各种精度以及不同行程的电动位移台，uKSA系列高精密闭环电动滑台闭环分辨率可达到0.1um，为实验提供高效稳定的多维度扫描系统。

高精度压电位移台

对于一些高精度的扫描环境，通过压电位移台（如 LS65系列压电平移台）微调位置，*小步伐可达到10nm。

总结

卓立汉光凭借丰富的光机电产品线与系统集成能力，为光波导实验提供从激发、调整到检测的全流程解决方案，对光路的稳定性和便捷性至关重要，为广大科研工作者的科学研究带来强有力稳定性支撑，助力科研与产业实现高精度、高效率的光学实验与产品开发。

其他相关产品

（3）气浮隔振平台：实验室的基本设施，光波导实验对稳定性要求较高，气浮式光学平台的稳定性较好。同时也兼具对阻尼式操作台的需求。

（4）VHG-M光栅周期测试系统，重新定义纳米级光栅器件的质量基线

1.Littrow 结构+纠偏算法：破解衍射光栅的"基因密码"

λ/10000--0.02nm 级光栅周期解析精度

基于Littrow 自准式入射结构，系统通过精密调整入射角与衍射光强反馈，实现0.02nm 级光栅周期测试灵敏度。相较传统透射电子显微镜、原子力显微镜分析法，分辨率提升100倍。

▌0.005°--K 矢量高精度测试

独家算法实时解算光栅面内K 矢量角度，K 矢量精度可达0.005°，全面监测光栅器件面内K矢量异常。某AR 光波导客户借此将产品调试周期从48 小时缩短至6 小时。

▌支持多种光栅参数测试

光栅测试系统支持多类型光栅测试，包括：闪耀光栅、反射全息光栅、透射全息光栅和布拉格体全息光栅等。助力VR、AR 行业客户。（实际使用请咨询）

2、硬核技术矩阵：实验室精度，工业级可靠性

▶ 卓立四轴轴微米级定位系统

位移轴光栅尺反馈，重复定位精度±3μm，闭环分辨率：1μm

旋转轴光栅尺反馈，重复定位精度±0.003°，闭环分辨率：0.000152°

支持Φ254mm 超大光栅片全域mapping，40s 完成单点测量，较手动调节效率提升50 倍。

3、从实验室到产线：全场景解决方案

▶ 科研模式

开放API 接口，支持自定义测量Recipe，支持自定义数据处理。

▶ 工业模式

真空吸附，自动上下料，无缝对接MES/QMS 系统，全自动检测

4、系统关键参数一览表