|
光栅刻画线（g/mm） |
300 |
1200 |
2400 |
|
分辨率（nm） |
0.15 |
0.03 |
0.02 |
|
光谱范围（nm） |
20-80 |
5-20 |
1-5 |
|
光谱范围（eV） |
65-15 |
248-62 |
1240-248 |
13810146393
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