光学部分设计概述
定制样品夹具，带手动倾斜校正，可在显微镜下，通过对焦的清晰度，对样品盘进行手动倾斜校正，让样品在整个扫描范围内，处于同一对焦面内，保证采用聚焦光斑测试时的稳定性。
配备兼容2寸的大范围高精度自动扫描台，手动放片后，扫描台托载晶片实现晶片上多点的自动扫描Mapping功能，步长精度<1μm，X方向运动范围50mm，Y方向运动范围50mm，Z方向运动范围20mm。
显微镜可在显微成像和光电流两种模式下切换，显微模式下，物镜转轮切换到紫外消色差透镜组，可通过微区显微镜相机观察微区图像和激光光斑，用户可以通过显微像确认样品图案是否对准、激光光斑聚焦情况、样品是否倾斜等。
显微镜模组内通过激光采样镜和标准探测器，对激光能量波动进行检测，用于补偿光电流测试的结果。
可通过物镜切换转轮，在聚焦和非聚集的两种情况下测量：聚焦时，光斑通过紫外消色差透镜组聚焦到0.5mm以下，Mapping小范围，测量探测器的不均匀性；不聚焦时，物镜转轮切换到通孔，直接用高斯光束照射样品，通过光阑控制高斯光束的束宽，根据输入的版图位置测量器件不同区域的响应度。
激光包括193、266和355激光器，激光通过激发和收集模组、耦合光路模组传输到物镜前端并聚焦，激光通过切换镜进行切换。通过衰减片对能量进行衰减，通过光阑控制光束的束直径。
氙灯和单色仪通过光纤接口接入耦合光路模组，经过深紫外透镜组准直后，到达物镜后，聚焦到样品表面，光斑直径约200微米。
电学部分设计概述
稳态光源测试模式：
稳态光源（等离子体光源+单色仪）照射下，标准探测器和待测样品直接接偏压，通过双通道源表同时获取光电流随时间的变化。
脉冲光源测试模式:
脉冲电学测试:脉冲激光照射下,标准探测器和待测样品接跨导放大器,将光电流转化为电压,通过多通道示波器同时获取标探和待测样品的电压随时间的变化。此时偏压固定,由放大器提供偏压。
系统规格
革命性的插槽式并联光路设计
优势:
强大的光路稳定性：取消了传统意义上的显微镜周边冗余，更加贴合光路稳定性要求比较高的未来应用场景
无限拓展的可能性：显微镜光路，荧光，RAMAN，振镜扫描光电流光路，不同波长的荧光与RAMAN测试，依次并联，无限拓展
定量测试的高准确度：激光功率校准集成在显微镜模组中，通过测量激光采样镜获取的少量激光光强，可作为激光功率的实时校准和参考，并通过集成在荧光和拉曼模组中的连续衰减片调节光强。
更多的功能实现：荧光光强对于激发功率密度非常敏感，要准确的比较不同样品的荧光光强，需要应用翘曲度模组通过自动对焦，固定激发光斑的大小，同时通过激光功率校准来固定激发光强，最终保证了显微共聚焦荧光光强的稳定性和可比较性。
智能化软件平台和模块化设计
· 统一的软件平台和模块化设计
· 良好的适配不同的硬件设备：平移台、显微成像装置、光谱采集设备、自动聚焦装置等
· 成熟的功能化模块：晶圆定位、光谱采集、扫描成像Mapping、3D层析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光电流Mapping等。
· 智能化的数据处理模组：与数据拟合、机器学习、人工智能等结合的在线或离线数据处理模组，将光谱解析为成分、元素的分布等，为客户提供直观的结果。可根据客
· 户需求定制光谱数据解析的流程和模组
· 可根据客户需求进行定制化的界面设计和定制化的RECIPE流程设计，实现复杂的采集和数据处理功能。
13810146393
在线咨询
