说明：
QF 系列是采用的静压气浮导轨作为保持机构，直线电机驱动的直线滑台。该系列滑台具有 高稳定度、高分辨率，精密位移，大负载的功能。采用气浮导轨为保持机构，工作过程没有摩擦， 无灰尘产生，没有爬行现象。直线电机作为驱动机构，齿槽小，分辨率高，轻松实现亚微米级定 位需求。产品尺寸较多，可以根据需要灵活选择， QF 系列产品适合用于半导体行业或其他对于 精密位移亚微米级调整有需求的客户。台面多种标准孔位的安装孔适合不同需要，下方标准固定 孔方便将其与其他滑台连接，组成多维移动台。
特点：
· 采用气浮静压导轨，运动无爬 行，直线度好，负载可控制， 稳定性好；
· 采用直线电机，微步能力好，驱 动力可控，速度稳定；
QF系列气浮导轨滑台命名规则：
QF 25-300 S-BNA
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QF 系列代码： QF:单轴空气轴承类滑台 QFD:XY组合空气轴承类滑台 QFH:龙门组合空气轴承类滑台 |
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25 台面宽度： 25:250mm 30:300mm |
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300 有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm |
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S 基座材质： A:铝合金 S:大理石 C:碳化硅 |
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B 分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm |
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N 电机类型： N:无铁芯 M:有铁芯 |
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A 台面材质： A:铝合金 T:其它 |
以上命名规则除技术规格列表内标准产品，其余配置请联系销售进行定制。
QF系列气浮导轨滑台选项表
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型号 |
QF25-100A-BNA |
QF25-200A-BNA |
QF25-300A-BNA |
QF25-400A-BNA |
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台面尺寸(mm) |
245x200(运动方向) |
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厚度(mm) |
120 |
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移动量(mm) |
100 |
200 |
300 |
400 |
|
光栅尺分辨率(nm) |
20 |
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驱动方式 |
无铁芯直线电机 |
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导轨 |
一体式静压导轨 |
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双向重复精度(μm) |
0.4 |
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无修正定位精度(μm) |
1.2 |
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直线度(μm) |
2 |
2.5 |
3 |
3 |
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俯仰(arcsec) |
4.5 |
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偏摆(arcsec) |
2.1 |
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主体材料及表面处理 |
铝合金，黑色硬质阳极氧化处理 |
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中心负载(Kg) |
10/μm |
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型号 |
QF25-400S-BNA |
QF25-500S-BNA |
QF25-600S-BNA |
QF25-800S-BNA |
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台面尺寸(mm) |
290x200(运动方向) |
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厚度(mm) |
189 |
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移动量(mm) |
400 |
500 |
600 |
800 |
|
光栅尺分辨率(nm) |
20 |
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|
驱动方式 |
无铁芯直线电机 |
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导轨 |
气浮脚式静压导轨 |
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双向重复精度(um) |
0.3 |
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无修正定位精度(μm) |
1.2 |
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直线度(μm) |
2 |
3 |
5 |
5 |
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俯仰(arcsec) |
2 |
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|
偏摆(arcsec) |
2 |
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主体材料及表面处理 |
大理石，铝合金 |
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中心负载(Kg) |
15/um |
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说明 ：
1.以上测试数据在使用TMC-NET-2L 控制系统下，采用GB/T17421.2 双轴线拟合下，采用等级为VC-C 环境下隔振系统所测试；
2.测试用气体0.5MPa 压缩空气，做过滤和除水工艺；
3.测试环境介于万级~十万级洁净空间内；
4.测试温度20±1℃,湿度40~60%。
特点和选型指导
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项目 |
xxxA |
xxxS |
xxxC |
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材质 |
铝合金 |
大理石 |
碳化硅陶瓷 |
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导轨长度(mm) |
200~800 |
400~3000 |
400~2000 |
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外形尺寸(mm) |
超小~中 |
中~超大 |
小、中、大 |
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制作方式 |
机加工 |
磨削 |
烧制 |
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重复精度(μm) |
0.3 |
0.3 |
0.25 |
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直线度(μm) |
1~3 |
2~5 |
2~3 |
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组合形式 |
X, XY(小) |
X、XY、龙门 |
X、XY、龙门 |
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造价(元) |
1~10 |
5~100 |
50~1000 |
尺寸图：
13810146393
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