APPLICATION
设备内部实拍
单点周期重复精度 |
≤0.02nm |
单点周期绝对精度 |
≤ ±0.1nm |
单点光栅面内矢量角绝对精度 |
≤±0.01° |
单点光栅面内矢量角重复精度 |
≤±0.005° |
单点测试时间 |
45s |
可测光栅类型 |
反/透全息光栅、闪耀光栅、全息体光栅 |
可测光栅尺寸 |
小于 8 英寸(支持定制) |
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