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VHG-M光栅周期测试系统开启VR/AR光学器件质效革命

当你的VR 眼镜出现模糊时,问题可能藏在纳米级光栅里
消费者抱怨AR 设备画面不清晰?工业质检员反复校准色度计?这些问题的根源往往指向光栅元件的微观缺陷——
▶纳米级的周期误差可导致意想不到的光线传输
▶K 矢量畸变引发光线传播串扰,造成成像模糊、色偏
▶传统接触式测量划伤镀膜层、精度低、无法精确测试K 矢量
卓立光栅测试系统,重新定义纳米级光栅器件的质量基线

设备内部实拍

一、Littrow 结构+纠偏算法:破解衍射光栅的"基因密码"
Littrow 结构示意图
λ/10000--0.02nm 级光栅周期解析精度
基于Littrow 自准式入射结构,系统通过精密调整入射角与衍射光强反馈,实现0.02nm 级光栅周期测试灵敏度。相较传统透射电子显微镜、原子力显微镜分析法,分辨率提升100倍。
0.005°--K 矢量高精度测试
独家算法实时解算光栅面内K 矢量角度,K 矢量精度可达0.005°,全面监测光栅器件面内K矢量异常。某AR 光波导客户借此将产品调试周期从48 小时缩短至6 小时。
支持多种光栅参数测试
光栅测试系统支持多类型光栅测试,包括:闪耀光栅、反射全息光栅、透射全息光栅和布拉格体全息光栅等。助力VR、AR 行业客户。(实际使用请咨询)
二、硬核技术矩阵:实验室精度,工业级可靠性
▶ 卓立四轴轴微米级定位系统
位移轴光栅尺反馈,重复定位精度±3μm,闭环分辨率:1μm
旋转轴光栅尺反馈,重复定位精度±0.003°,闭环分辨率:0.000152°
支持Φ254mm 超大光栅片全域mapping,40s 完成单点测量,较手动调节效率提升50 倍。
光栅mapping 结果
三、从实验室到产线:全场景解决方案
▶ 科研模式
开放API 接口,支持自定义测量Recipe,支持自定义数据处理。
▶ 工业模式
真空吸附,自动上下料,无缝对接MES/QMS 系统,全自动检测
四、系统关键参数一览表
 

单点周期重复精度

≤0.02nm

单点周期绝对精度

≤ ±0.1nm

单点光栅面内矢量角绝对精度

≤±0.01°

单点光栅面内矢量角重复精度

≤±0.005°

单点测试时间

45s

可测光栅类型

反/透全息光栅、闪耀光栅、全息体光栅

可测光栅尺寸

小于 8 英寸(支持定制)