系统名称 | LBIC激光光束诱导电流成像系统 |
激发光源 | 多种高稳定性连续激光器 |
激光功率 | 0-30mW连续可调 |
聚焦光斑大小 | 小于50um |
光源功率稳定性 | <1% |
系统测量重复性 | <2% |
显微系统 | X10、X20倍显微物镜 |
监视部分 | 130W像素工业相机 |
可测量样品面积 | 100mm X 100mm |
位移空间分辨率 | 0.625um |
工作温度范围 | 10-35摄氏度 |
标准探测器 | 中国计量院标定的Si或InGaAs标准探测器 |
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