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光栅元件内部结构的微小缺陷，即使纳米级别的光栅周期差异即可导致意想不到光线传输路径，而K矢量的细微畸变即可引起光线传播串扰，即可造成成像模糊以及色偏。而传统的接触式测量方式容易划伤膜层，且测量精度和效率也无法满足日益增长的需求。卓立VHG-M光栅测试系统基于Littrow自准式入射结构，系统通过精密调整入射角与衍射光强反馈，实现0.02nm级光栅周期测试灵敏度。相较传统透射电子显微镜、原子力显微镜分析法，分辨率提升100倍，同时大幅提高测试效率及精准度。
本文探讨了振动控制技术与精密平台在芯片制造中的关键作用，对比分析了主动与被动隔振系统的技术特点及应用场景。研究指出，主动隔振系统更适合先进制程的低频振动控制，而被动隔振在高频段更具成本优势。结合高精度平台和运动控制系统，可显著提升设备稳定性，为半导体制造工艺提供可靠的精度保障。
卓立光机、激光和光谱产品在半导体行业的部分应用
卓立的三线摆TPR气浮平台加上韩国Park的桌面式主动隔振台I4，为AFM应用提供主机的主被动隔振方案
VR眼镜是一种能够提供虚拟现实体验的设备。由镜头和液晶显示器组合而成的光学系统是此产品的核心部分。成像的效果直接影响到了客户的体验。六轴并联机器人可以实现对镜片质量的在线检测，及时发现问题并采取措施，确保产品质量。通过六轴并联机器人的应用，可以实现镜片测试过程的自动化、高效化，提高生产效率和产品质量
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