基于RTS2 显微系统而搭建，集成拉曼/荧光/光电流原位测试功能。该系统可原位探测拉曼、荧光及光电流信号。配合高精度微米电动位移台，实现Raman Mapping，PL Mapping以及激光诱导光电流成像（LBIC)。深度表征材料内部的分子振动能级与转动能级结构信息，光生载流子的生成与复合机制，器件吸收和电荷生成的微区特性，光电材料界面以及半导体结区的品质分布等特性。
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Raman与 Raman Mapping |
Raman 光谱范围 |
80-9000cm-1 @532激光器 |
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共焦方式 |
针孔共聚焦 |
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灵敏度 |
硅三阶拉曼峰的信噪比好于20:1，并能观察到四阶峰 |
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空间分辨率 |
≤1μm@100X物镜，NA0.9，532nm单纵模激光器 |
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光谱CCD探测器 |
分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm区间处>90%， 光谱范围：200 ~ 1100 nm |
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荧光 PLMapping
与 FLIM
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光谱扫描范围 |
200-900nm |
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最小时间分辨率 |
2ps或16ps可选 |
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荧光寿命测量范围 |
100ps-10μs |
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激光器波长 |
193nm/195nm/213nm/266nm/375nm/405nm等多波长稳态与瞬态激光器可选 |
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空间分辨率 |
≤1μm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器 |
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位移台范围 |
扫描范围大于300x300mm^2，最小分辨率1um |
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光电流 Mapping
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激光器 |
标配532nm激光器，也可以选择其他波长激光器 例 如405nm/633nm/785nm等 |
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光路 |
振镜光路设计，可以兼容低温台 |
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扫描范围 |
扫描范围大于200×200 μm2 最小分辨率1 μm。
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数据采集 |
电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA – 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA 准确度： 0.03% 也可以根据用户需求选择
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探针台 |
直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合 样品位置单独二维移动，方便同类样品更换 样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选 |
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测试功能 |
光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 |
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低温台 |
77k-300k，其余温度可选，电学接口可选 |
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瞬态光电流/光电压测试 |
可以增加脉冲激光器例 如ns脉冲YAG激光器 , 进行瞬态光电流/光电压测试 |
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自动聚焦 |
激光自动聚焦 |
自主研制的激光辅助离焦量传感器。可在无图案晶圆上实现精确自动聚焦和表面跟踪。辅以图形边缘识别，实现双模式自动调焦。 |
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明场成像与照明系统 |
自主研制的小型化科勒照明系统。照明视场均匀、无暗角，成像视场中心和边角均有高对比度和解析度。 |
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全自动操作 |
全软件控制，自动调焦、寻区、切换物镜 |
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对焦精度 |
在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪对焦精度<0.2 μm |
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晶圆测试 |
样品台 |
8时吸气台(12时可定制)可兼容2、4、6、8吋晶圆片 |
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功能 |
应力测试，载流子浓度，缺陷检测等 |
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软件分析 |
可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。主成分分析(PCA)和k-均值聚类处理模块。将拟合结果以二维图像方式显示。 |
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