注 :
1.三轴系列无 L/R 尾缀
2. 设备不包含驱动器,需单独采购 (DNXP-M/A),可以按需求混装驱动
六轴高精度耦合台
型号 |
NXP-6M |
NXP-6NP |
|
行程 |
X、Y、Z直线行程为4mm。Rx、Ry、Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4°(70mrad) |
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传动比 |
X |
1:1.5 |
X轴和Y轴驱动和压电传动比相同,为1:1.5 驱动器和压电促动器每平移1μm,位移台平移1.5μm |
Y |
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Z |
1:1 |
驱动的传动比为1:1;压电传动比1:1.5 |
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分辨率 |
见驱动 |
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旋转中心 |
公共旋转中心;最大串扰100 μm |
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压电 |
规格 |
无 |
闭环压电 |
行程 |
典型值19μm |
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分辨率 |
X、Y、Z 1nm/Rx、Ry、Rz0.018μrad |
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最大负载 |
1kg |
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共振频率 |
>130 Hz(±10%) |
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热稳定性 |
1μm/℃ |
型号 |
NXP-3M |
NXP-3NP |
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行程 |
4 mm |
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传动比 |
1:1 |
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分辨率 |
见驱动 |
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串扰 |
≤100μm |
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顶板平行度 |
<100μm |
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压电 |
规格 |
无 |
闭环压电 |
行程 |
典型值19μm |
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分辨率 |
X、Y、Z 1nm |
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最大负载 |
1kg |
||
共振频率 |
>130 Hz(±10%) |
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热稳定性 |
1um/℃ |
型号 |
DNXP-M |
DNXP-A |
驱动类型 |
手动 |
电动 |
行程 |
13mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm |
8mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm |
分辨率 |
粗调10μm,微调0.5 μm |
整步125μm/半步0.625μm |
电机 |
无 |
35步进电机,步距角1.8° |
限位 |
内置限位开关 |
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定位精度 |
双向重复性为5.0μm |
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