特点：
平移滑台采用粗调+微调结构，灵敏度优于0.5μm
旋转滑台灵敏度优于29.4″
稳定性高，具有较高性价比
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型号 |
uFP1A |
uFP1B |
uFP1C-L |
uFP1C-R |
uFP1Z-L |
uFP1Z-R |
uFP2E-L |
uFP2E-R |
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台面尺寸(mm) |
60×60 |
60×42 |
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台面厚度(mm) |
20 |
25 |
30 |
40 |
40 |
- |
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移动量 |
粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm |
θx：±3°；θy：±3° |
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导向机构 |
线性滑块导轨 |
交叉滚柱导轨 |
圆弧导轨 |
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驱动 |
分厘卡 |
分厘卡 |
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主体材料及表面处 理 |
铝合金，黑色阳极氧化处理 |
铝合金，黑色阳极氧化处理 |
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自重(Kg) |
0.28 |
0.32 |
0.4 |
0.43 |
0.4 |
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分辨率 |
粗调：≤10µm/刻度；精调≤0.5µm/刻度 |
θx：≤29.4″/刻度；θy：≤27.7″/刻度 |
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静态平行度 |
≤60µm |
- |
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运动平行度 |
≤10µm |
- |
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运动直线度 |
≤4µm |
- |
- |
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台面旷量/前后 |
≤8µm |
- |
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台面旷量/左右 |
≤8µm |
- |
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负载(Kg) |
5 |
6 |
5 |
2.5 |
1.5 |
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13810146393
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