

当一个点光源(通常是激光)通过物镜聚焦在样品上,这一点所成的像通过探测针孔被探测器所检测,此时照明针孔和探测针孔相对于物镜焦平面是共轭的,即为共聚焦。在共聚焦显微系统中,只有被照明样品的散射光信号才会被接受,这就保证了横向空间分辨率;而位于光源照明区域内,但不在焦平面上的样品信号会由于离焦而被探测针孔(空间滤波器)强烈地衰减,这也就保证了纵向空间分辨率。因此, 当我们将样品沿着激光入射的方向上下移动时, 可以将激光聚焦于样品的不同层,以实现对样品的剖层分析。共聚焦的另外一个优点是对于透明,半透明样品,或者有较强荧光和黑体辐射背景的样品来说,有较好的背景抑制的功能。

如上图所示,在宽场成像(A)中,离焦光线会显著地降低图像的分辨率和对比度;但是在共聚焦成像系统(B)中,利用针孔去除非聚焦光线,可以形成对比度和分辨率更高的图像。

在一个有众多光学元件的光学系统里面,光学元件调节架的温漂,光路切换的重复性等问题,直接影响系统的稳定性,反映到显微共聚焦拉曼光谱系统上*直观的现象就是激光光斑的漂移。而激光光斑的漂移会带来诸多问题,*直接的影响就是共聚焦性能的降低以及系统灵敏度的下降,其次光斑漂移会对偏振等对光路准直性要求极高的实验带来影响,因此保证系统的稳定性是设计一切光学系统的首要问题。
在光学系统中,光路越长,反射镜越多,那么光学调整架由于温度湿度影响而产生的漂移量就越大,激光光斑的漂移就会越严重。从共聚焦原理可以看到,共聚焦就是要把激光光斑成像到针孔上,激光光斑漂移就意味着针孔上的光斑像漂移,因此通光量就会显著下降。为了避免信号强度受到影响,因此只能把针孔变大,进而影响共聚焦性能。为了解决这个问题,Finder930 采用了激光器内置的设计,*大程度减小光路长度,同时采用受温度湿度影响形变*小的航空铝材设计制作光学元件调整架。
时间稳定性实验测试曲线:

当共聚焦拉曼系统为了满足不同的实验需求配置多路激光器时,就需要进行激光器和滤光片的切换,因切换过程对定位精度和重复定位精度都有很高的要求,因此一般采用电动切换。Finder 930 在设计初期, 便巧妙地将多个波长的激光器通过二向色镜进行合束并固化,在更换激光器波长时, 软件会自动控制激光器的开关,并自动切换到响应的滤光片。以上的设计,保证了系统可以长期(数月)稳定工作,而不需要经常调整光路。
温度稳定性实验测试曲线:

注:该曲线为实验室测试数据,环境温度22±2℃
从前面的原理介绍得知,拉曼光谱是用来表征物质化学成分以及研究分子性质如应力,极性,及晶体质量等属性的一种工具。而拉曼mapping 或者叫拉曼成像就是将研究的对象可视化的一种手段。用户可以直接从Mapping 图像上得到如化学成分的空间分布,非常直观。
既然是Mapping 是显微图像的一种,那么Mapping 就必须有显微图像应该具备的特点,即就是空间分辨率和成像速度。
空间分辨率分为横向(XY 平面)和纵向(Z)两个指标,横向分辨率主要受物镜NA,激光器波长,共焦针孔的尺寸以及激光器光斑质量的影响,而纵向分辨率也就是我们讲的共聚焦性能,除了上面几个因素外, 还跟系统的优化设计有极大的关系。经过优化过后的Finder930,可以在100X,0.9NA 物镜,532nm 激光测试条件下,达到横向空间分辨率0.5μm,纵向空间分辨率1.79μm。而我们的所有Mapping 均可以在共聚焦情况下完成,因此保证了mapping 结果的空间分辨率。
Mapping 成像速度是另外一个重要的参数,主要取决 于系统的灵敏度,电动台的精度以及软件的处理能力。 灵敏度要够高,单光谱的采集时间才可以更短,才能 从本质上提升 Mapping 速度,而电动台的高精度主要 是防止图像畸变,软件的 Mapping 逻辑是为了提升 Mapping 速度,做到边走边采的同步功能,软件的实 时处理能力比如噪声抑制,背景扣除等功能,可以从弱信号、复杂信号当中把拉曼光谱提取出来实时显示。
2.1 系统灵敏度:镀银反射镜,可升级宽谱介质膜; 光谱仪可做镀银升级;F/4.2 通光口径;CCD 采用 深制冷,背照式深耗尽芯片,峰值量子效率 >90%; 1.48MHz 读出速度,可实现一秒钟 100 张以上光谱采集速度。
2.2 Mapping 采集图像时,电动位移台先从原点移动 至采集目标区域零点,然后依照程序设计进行逐点逐 行扫描,扫描结束后,电动位移台回到扫描区域的中 心点。此时可以对采集到光谱进行数据处理,得到理 想的拉曼 Mapping 图像。
具有强大的数据分析软件,可以对 Mapping 数据进行去基线、平滑等预处理,之后根据需求可以通过信号强度的 积分、平均值、*大值等模式进行成像;此外,还可以对单峰及多峰进行数据拟合。对于输出的图像,可以进行 色表匹配等美化处理。


光谱 Mapping 数据处理 可以对单点(全图)数据进行预处理,包括去除“宇宙射线”、光谱基底,平滑光谱曲线等。


证明文件
纵向分辨率
测量配置:
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• 样品: 标准硅 • 步长:0.125μm • 激光:532nm • 光栅:600g/mm@500nm • 显微物镜:100X |
• 狭缝:100μm • 针孔:10μm • 分辨率: 在针孔为10μm时达到1μm 以内 • 监测信号强度:硅的一阶峰信号强度 |
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横向分辨率
测量配置:
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• 样品: 单层二硫化钼 • 步长:0.2μm • 积分时间:0.5s • 激光:532nm |
• 光栅:600g/mm@500nm • 显微物镜:100X 暗场物镜 • 狭缝:100μm • 针孔:50μm |
• 分辨率: 在Mapping 图像上沿样品 |
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2. 信噪比
测量配置:
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• 样品: 硅片 • 积分时间:300s,累计积分1 次 • 激光:532nm • 光栅:600g/mm@500nm • 显微物镜:100X 暗场物镜 • 狭缝:100μm • 光谱范围:1100-2500cm^-1 |
• 实验结果: 在50μm 针孔配置下测量硅片的三阶和四阶拉曼峰信号,三阶拉曼信噪比~35:1 • 计算方法: • 信号强度:Ysignal=y-y2-﹛(x2-x)/(x2-x1 )﹜ (y1-y2 ) • 噪声强度:Ynoise=(y3-y4)/2 • 信噪比:SNR=Ysignal/Ynoise |
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3. 光谱分辨率
测量配置:
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• 光源: 氖灯585.25nm • 光栅:1800g/mm@500nm • 显微物镜:100X 暗场物镜 • 狭缝:10μm • 针孔:50μm |
• 光谱仪焦长:320mm • 实验结果:1.025cm^-1 • 光谱分辨率( 半高宽): ≤ 1.5cm^-1,典型值;2cm^-1 保证值 |
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型号及描述
SLMPLN20X:长工作距离物镜,NA 值0.25,工作距离25mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;
SLMPLN50X:长工作距离物镜,NA 值0.35,工作距离18mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;
SLMPLN100X:长工作距离物镜,NA 值0.6,工作距离7.6mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;
LMU-15X-NUV:紫外物镜,波段325-500nm,NA0.3,工作距离8.6mm,螺纹规格RMS,齐焦距离39.1mm;
LMU-40X-NUV:紫外物镜,波段325-500nm,NA0.47,工作距离0.8mm,螺纹规格RMS,齐焦距离34.5mm;
LMPLN10XIR:红外物镜,波段700-1300nm,NA 值0.3,工作距离18mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;
LCPLN50XIR:红外物镜,波段700-1300nm,NA 值0.65,工作距离4.5mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;
LCPLN100XIR:红外物镜,波段700-1300nm,NA 值0.85,工作距离1.2mm,螺纹规格RMS,齐焦距离45mm;

75x50 行程,控制手柄
1μm 定位精度,*小步进50nm;
2D Raman/PL Mapping
*大承重1kg;

温度范围: -190℃~ 600℃;
温度分辨率:0.01℃;
温度稳定性:±0.05℃(>25℃)±0.1℃(<25℃);
*大加热速度:+150℃ /min;
*大制冷速度:-50℃ /min
*小物镜距离:5 mm;

能与各式拉曼和红外光谱仪(反射式)配套进行原位条件下的光谱测试,广泛应用于化学、材料及相关领域,特别适合于电化学基础研究。本装置属研究型, 可依据需要进行功能扩展。
主要特点:
• 拉曼、红外兼容;
• 可通气体;
• 不同窗口可选
• *小焦距1mm;
热液金刚石压腔是一种新型的金刚石压腔装置,能在显微镜下观察高温高压或低温高压水体系的相变实验。它利用两个金刚石砧使处于金刚石砧中部的铼样品室垫圈压缩密封产生高达3 到5 个GPa 的高压。由碳化钨支座、钼加热炉丝、陶瓷粘合剂、热电隅及摇台组成的加热组件提供高达1000℃ 的温度。配合显微镜或激光拉曼可以观察相变过程,测量反应物的组成变化。可以用于甲烷水合物实验、H2O 冰的高压相实验、花岗岩熔融实验、岩石矿物组合熔融实验研究和可燃有机岩、石油、蒙脱石及岩石热解实验、矿物中包裹体研究。

温度范围:室温到1000℃;
温度精度:±0.1℃;
加热速率:0.1 到150℃ /min;
压力范围:大气压到3GPa(标配);
低温范围:到-100℃(特殊需求);
是一款可应用于样品拉伸条件下的红外、紫外、荧光研究的测试装置。原位红外、紫外、荧光拉伸装置根据材料所需要的拉伸作用而设计,配合相应光谱仪的结构空间需求, 能够实现样品的拉伸测试要求;其结构设计上则充分考虑了实验室条件下红外、紫外、荧光测试需求,设置了相应的窗口,保证光线的透射和90°方向荧光出射探测。
• 位移拉伸量调节范围:0.1-20mm;
• 拉力调节范围:1-100N,精度约满量程的±0.3%;
• 其他拉力范围可选;
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 激光波长 (nm) | 标配 532nm,选配 638nm、785nm |
| 激光功率 (mW) | >60mW(532nm),>25mW(638nm),>50mW(785nm) |
| 拉曼频移范围 (cm-1) | 80–9000 cm-1 @532nm,80–6000 cm-1 @638nm,80–3200 cm-1 @785nm |
| 显微镜 | 正置显微镜 |
| 样品台 | 标配:手动,行程 102×105mm;选配:电动位移台,行程 75×50mm |
| 物镜 | 10×、50×、100×,半复消色差 |
| 落射式照明 | LED 光源 |
| 光谱仪 | 标配 320mm 焦长光谱仪,Czerny-Turner 式 |
| 光谱 CCD | ≥2000×256 像素,背照式深耗尽芯片,QE>90%,可见近红外专用 |
| 光栅配置 | 1800g/mm@500nm blazed;600g/mm@500nm blazed;150g/mm@500nm blazed |
| 光谱分辨率 | <1.5 cm-1 |
| 信噪比 | >30:1 |
| 空间分辨率 | 纵向分辨率:<2 μm@50 μm 针孔,532nm 激光;≤1 μm@10 μm 针孔,532nm 激光 横向分辨率:<500nm@532nm 激光 |