型号 |
NXP-6M |
NXP-6P |
NXP-6NP |
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行程 |
X 、Y 、Z直线行程为4 mm。Rx、 Ry、 Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4 。(70mrad) |
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传动比 |
X轴和Y轴传动比为1: 1.5,驱动器每平移1 mm,位移台将平移1.5 mm;Z轴的传动比为1:1;三个旋转轴驱动每平移 1μm,旋转17μrad |
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分辨率 |
见驱动 |
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旋转中心 |
公共旋转中心;最大串扰100 µm |
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压电 |
规格 |
无 |
开环压电 |
闭环压电 |
行程 |
19µm |
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分辨率 |
X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad |
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最大负载 |
1kg |
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共振频率 |
>130 Hz(±10%) |
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热稳定性 |
1μm/℃ |
三轴高精度耦合台
型号 |
NXP-3M |
NXP-3P |
NXP-3NP |
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行程 |
4 mm |
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传动比 |
1:1 |
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分辨率 |
见驱动 |
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串扰 |
100um |
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顶板平行度 |
<100µm |
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压电 |
规格 |
无 |
开环压电 |
闭环压电 |
行程 |
19µm |
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分辨率 |
X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad |
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最大负载 |
1kg |
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共振频率 |
>130 Hz(±10%) |
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热稳定性 |
1μm/℃ |
驱动
型号 |
DNXP-M |
DNXP-A |
驱动类型 |
手动 |
电动 |
行程 |
13mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm |
8mm 与NXP系列设备配合使用后行程4mm |
分辨率 |
粗调10 µm,微调0.5 µm |
1.25 µm |
电机 |
无 |
28步进电机,步距角1.8。 |
限位 |
内置限位开关 |
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定位精度 |
双向重复性为5.0 µm |
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