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NXP多维度光学耦合台

NXP系列多维度光学耦合台包含六轴耦合台和三轴耦合台,可用于其他产品的手动驱动和电动驱动。它适用于光纤、波导、光电封装和任何高分辨率对准或定位应用,包括通用实验室任务。创新的柔性设计与模块化驱动系统相结合,提供了卓越的性能和灵活性。产品内部没有导轨轴承,平行挠性设计确保滑台连续的运动和长期的稳定性.
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产品概述
说明:
NXP 系列多维度光学耦合台包含六轴耦合台和三轴耦合台,以及可用于其他产品的手动驱动和电动驱动。它适用于光纤、波导、光电封装和任何其他高分辨率对准或定位应用,包括通用实验室任务。创新的柔性设计与模块化驱动系统相结合,提供了卓越的性能和灵活性。
NXP 系列六轴耦合台的位移台在移动平台前都有不锈钢探针,标记所有旋转轴的公共支点,所有旋转轴都具有公共支点,可以减少系统的对准时间。
NXP 系列多维度光学耦合台产品内部没有导轨轴承,平行挠性设计确保滑台连续的运动和长期的稳定性,非常适用于亚微米级分辨率的应用。对于纳米定位应用,提供内置压电驱动器的版本。这种结构相对于滑台组维的方式,稳定性有极大的提高,在温度较为恒定的条件下,产品适用于光纤对准等需要保持静态粘接的应用中。
NXP 系列多维度光学耦合台可进行手动驱动 / 电动驱动快换,可满足空间中不同维度使用混装驱动器。
命名规则
 
NXP多维度光学耦合台选型表
注:表格为NXP系列产品型号汇总,其中红色标注型号为研发中产品
六轴高精度耦合台

型号

NXP-6M

NXP-6P

NXP-6NP

行程

X 、Y 、Z直线行程为4 mm。Rx、 Ry、 Rz(摆动、俯仰和偏转)行程为4 。(70mrad)

传动比

X轴和Y轴传动比为1: 1.5,驱动器每平移1 mm,位移台将平移1.5 mm;Z轴的传动比为1:1;三个旋转轴驱动每平移 1μm,旋转17μrad

分辨率

见驱动

旋转中心

公共旋转中心;最大串扰100 µm

 

压电

规格

 

开环压电

闭环压电

行程

19µm

分辨率

X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad

最大负载

1kg

共振频率

>130 Hz(±10%)

热稳定性

1μm/℃

三轴高精度耦合台

型号

NXP-3M

NXP-3P

NXP-3NP

行程

4 mm

传动比

1:1

分辨率

见驱动

串扰

100um

顶板平行度

<100µm

 

压电

规格

开环压电

闭环压电

行程

19µm

分辨率

X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad

最大负载

1kg

共振频率

>130 Hz(±10%)

热稳定性

1μm/℃

驱动

型号

DNXP-M

DNXP-A

驱动类型

手动

电动

行程

13mm

与NXP系列设备配合使用后行程4mm

8mm

与NXP系列设备配合使用后行程4mm

分辨率

粗调10 µm,微调0.5 µm

1.25 µm

电机

28步进电机,步距角1.8。

限位

内置限位开关

定位精度

双向重复性为5.0 µm

 
NXP多维度光学耦合台尺寸图