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SPM300

半导体参数测试仪

基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪,具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析,空间分辨率< 800nm (典型值),也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件,可对数据进行拟合计算,直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定,重复性好,可用于实验室检验或者产线监测。
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产品概述

设备概览

基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪,具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析,空间分辨率< 800nm (典型值),也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件,可对数据进行拟合计算,直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定,重复性好,可用于实验室检验或者产线监测。

① 光路接口盒:

内置常用激光器及激光片组,拓展激光器包含自由光及单模光纤输入;

② 光路转向控制:

光路转向控制可向下或向左,与原子力、低温、探针台等设备连用,可升级振镜选项

③ 明视场相机:

明视场相机代替目镜

④ 显微镜:

正置科研级金相显微镜,标配落射式明暗场照明,其它照明方式可升级

⑤ 电动位移台:

75mm*50mm 行程高精度电动载物台,1μm 定位精度

⑥ 光纤共聚焦耦合:

光纤共聚焦耦合为可选项,提高空间分辨率

⑦ CCD- 狭缝共聚焦耦合:

标配CCD- 狭缝耦合方式,可使用光谱仪成像模式,高光通量

⑧ 光谱CCD:

背照式深耗尽型光谱CCD相机, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光谱仪:

F/4.2高光通量影像校正光谱仪, 1*10-5 杂散光抑制比

SPM300 半导体参数测试仪主要应用

选型表

型号

描述

SPM300-mini

基础款半导体参数分析仪,只含一路532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台

SPM300-SMS532

多功能型半导体参数分析仪,含532nm 激光器,常规正置显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台,

可升级耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

开放式半导体参数测试仪,含532nm 激光器,定制开放式显微镜,光谱仪,高精度XYZ 位移台,

可升级耦合最多4 路激光器

系统参数

项目

详细技术规格

光源

标配532nm,100mW 激光器,其他激光可选,最多耦合4 路激光,可电动切换,功率可调节

光谱仪

320mm 焦距影像校正光谱仪,光谱范围90-9000cm-1,

光谱分辨率

2cm-1

空间分辨率

<1μm

样品扫描范围

标配75mm*50mm,最大300mm*300mm

显微镜

正置显微镜,明场或者暗场观察,带10X,50X,100X 三颗物镜;开放式显微镜可选

载流子浓度分析

测试范围测试范围1017 ~ 1020 cm-3,重复性误差<5%

应力测试

可直观给出应力属性(拉力/ 张力),针对特种样品,可直接计算应力大小,应力均匀性分析

(需额外配置电动位移台), 应力解析精度0.002cm-1

晶化率测试

可自动分峰,自动拟合,自动计算出晶化率,并且自动计算晶粒大小和应力大小

测试案例举例