产品名称:DVIA主动隔振光学平台

产品型号: DVIA

产品品牌: zolix

  
DVIA主动隔振光学平台

DVIA-MB,专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台

 DVIA主动隔振光学平台特点:

 具有非常优秀的隔振性能,特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率
 采用惯性传感器,可以检测出六个自由度的振动并做补偿
 采用真蜂窝三层夹心式结构台面,厚度可选100/200/300mm
 进口精密主动隔振光学平台
 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜,扫面隧道显微镜,激光干涉仪 ,半导体检测设备,三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等

 


 DVIA主动隔振光学平台技术指标:

 固有频率:0.5-100Hz
 自动平衡,响应时间短,平衡速度快
 钢蜂巢内核:钢制蜂窝芯,钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²
 表面平整度:±0.1mm /600 mm²
 台面:4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢
 底面:4.0mm厚碳钢,表面氧化处理
 边墙板:2.0mm厚碳钢,包裹高阻尼聚乙烯材料
 孔径: M6 (英制螺孔可选)
 孔距:25mmX25mm(英制孔距可选),最外边孔距平台边缘37.5mm
 螺孔密封:每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封,方便清洁
 阻尼隔振方式:宽带阻尼

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